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等离子净化器又称低温等离子废气净化器.

本工艺在电催化总的设计概念下,分三个即独立又混成的激发系统:微波激发区、等离子激发区、极板激发区.每个激发区有它特定的功能,但在原理上有它相似的地方.

本工艺有3至9个微波激发单位,根据被处理风量的不同数量不同,微波由于它的频率相对比较高,在纳秒的时间内有效作用于被处理空间(区域),由于微波的功率相对较小,因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限,本设计只是把微波作为初频激发源,在处理过程中作为一种预激发能.由于微波的预激功能,极大的提高等离子体区,极板区的激发能力和处理效果,由于微波技术的运用,本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越.

本工艺有40支至240支充有特殊气体的无极管组成的低温等离子体激发区,低温等离子体区是工艺的核心技术,国外诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体.从大量的试验分析,常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大,本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体,最大限度地在无极管区实现低温等离子体区,由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有极强的能量平衡性,在粒子撞击中失能极少,所以低温等离子体作为原子激发是最理想的一种能.