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(马锦玉)
半导体行业超纯水系统介绍:
概述:半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需要大量的纯水,高纯水,超纯水清洗半成品,成品,集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高,目前电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、5MΩ.cm以区分不同水质.
半导体行业超纯水设备工艺流程:
1.、原水箱→原水泵→多介质过滤→软化过滤器→精密过滤器→一级增压泵→一级反渗透→中间水箱→二级增压泵→二级反渗透→纯化水箱→EDI输送泵→EDI设备→超纯水箱→输送泵→使用点 (≥15MΩ.CM)
2.原水箱→原水泵→多介质过滤→软化过滤→精密过滤器→一级增压泵→一级反渗透→PH调节→中间水箱→二级增压泵→二级反渗透→纯化水箱→EDI输送泵→EDI设备→超纯水箱→供水水泵→紫外线杀菌→抛光树脂→μm过滤→使用点 (≥18MΩ.CM)
应用领域:
1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水
2. 超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水
3. 汽车、家电表面抛光处理
4. 光电子产品
5. 光学镜片,镜头清洗超纯水设备
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