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导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的-元素，就会使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的性能（主要包括电导率、可见光透过率）在目前是的，也被广泛用于我们日常使用的各类平板显示器的制作。ITO薄膜有复杂的立方铁锰矿结构，最低电阻率达10 -5 Ω . cm量级，可见光谱范围内平均光透射率90%以上。但是，由于铟为稀散元素，在自然界中贮存量少，价格较高，而且ITO应用于太阳能电池中时在等离子体中不够稳定，-种类的透明导电氧化物的研究也就成为了一个研究热点。这方面氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌（AZO）薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好，因而有可能成为ITO的替代产品，尤其是在太阳能电池透明电极领域。另外，多元复合氧化物如钙钛矿相的BaSnO 3 , SrSnO 3也是TCO薄膜的一个研究方向。
发布时间:2021-11-21 10:20 点击:227