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顶立科技立式化学气相沉积炉(碳化硅)
冶金设备

顶立科技立式化学气相沉积炉(碳化硅)

产品单价:面议 品牌: 顶立科技

最小起订:1 台

供货总量:1000 台

发货期限:付款后 180 天内发货

有效期至:长期有效

最高温度 : 1500

湖南顶立科技有限公司
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产品详情

该立式化学气相沉积炉可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

技术特征
采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 
采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
采用最新设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低。

主要配置
:丝杠升降/液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧      
炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC   
加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统:体积/质量流量计;手动/自动阀;进口/国产 
真空泵和真空计:进口/国产
PLC:欧姆龙/西门子              
控温仪表:日本岛电/英国欧陆 
热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/B分度号  
记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机                                 
电器元件:正泰/施耐德/西门子
发布时间:2021-12-16 01:40  点击:279

所在地:湖南长沙市

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